機(jī)械式真空計(jì)利用彈性元件的形變來測(cè)量壓力差。波登管真空計(jì)通過金屬管的彎曲程度反映壓力變化，薄膜真空計(jì)則通過薄膜的形變量來測(cè)量真空度。這類真空計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但測(cè)量精度有限，適用于粗真空測(cè)量。

 

　　熱傳導(dǎo)真空計(jì)基于氣體分子熱傳導(dǎo)原理。當(dāng)氣體壓力降低時(shí)，氣體分子平均自由程增大，熱傳導(dǎo)能力下降。熱偶真空計(jì)通過測(cè)量加熱絲溫度變化來推算真空度，而皮拉尼真空計(jì)則通過測(cè)量加熱絲電阻變化來確定壓力值。這類真空計(jì)在10^-1至10^-3Pa范圍內(nèi)具有較高的測(cè)量精度。

 

　　電離真空計(jì)利用氣體分子電離原理進(jìn)行測(cè)量。熱陰極電離真空計(jì)通過加熱陰極發(fā)射電子，使氣體分子電離產(chǎn)生離子流，通過測(cè)量離子流強(qiáng)度來確定真空度。冷陰極電離真空計(jì)則利用場(chǎng)致發(fā)射產(chǎn)生電子，適用于超高真空測(cè)量。這類真空計(jì)可測(cè)量10^-3至10^-10Pa的高真空。

 

　　選擇時(shí)需要考慮測(cè)量范圍、精度要求、環(huán)境條件等因素。在半導(dǎo)體制造中，需要精確控制真空度以保證產(chǎn)品質(zhì)量；在空間模擬實(shí)驗(yàn)中，需要測(cè)量高真空以模擬太空環(huán)境；在真空鍍膜中，需要實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)真空度以確保鍍膜質(zhì)量。

 

　　真空計(jì)的發(fā)展推動(dòng)了真空技術(shù)的進(jìn)步，而真空技術(shù)的進(jìn)步又對(duì)它提出了更高要求。隨著新材料、新原理的應(yīng)用，真空計(jì)正朝著更高精度、更寬量程、更智能化的方向發(fā)展。未來，真空計(jì)將在科學(xué)研究、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域發(fā)揮更大作用，為人類探索真空世界提供更精確的測(cè)量工具。